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ATLEX-500-L准分子激光器
ATLEX-500-L准分子激光器

ATL Lasertechnik @ ATLEX-500-L准分子激光器

产品负责人

陈工

姓名:陈工

电话:0431-85916189

邮箱:info@china-quantum.com


产品详情

产品特点:

 

· TMC(全金属陶瓷)管路

· 电晕预电离

· 固态开关

· 延长动态和静态气体寿命(数月)

· 激光头容积6 L

· 全部风冷

· RS-485、RS232、USB光纤接口

· 可冲洗光具座

· 集成4阀系统,便于气体处理

· 能量稳定模式

· 符合欧洲CE标准,符合RoHS规范

· 模块化设计/服务友好

参数型号
型号 ATLEX-1000-L ATLEX-500-L
机械尺寸
重量 70 kg 70 kg
尺寸 600 x 415 x 567 mm 600 x 415 x 567 mm
基础参数
最大重复频率 1000 Hz 500 Hz
波长(nm) 193/248 193/248
气体介质 ArF/KrF
ArF/KrF
高压开关技术 固态开关 固态开关
最大脉冲能量 10/15 mJ 10/15 mJ
最大平均功率  8.0/10.0 W 4.0/6.5 W
脉冲宽度 5 – 8 ns 5 – 8 ns
光束尺寸(V x H) 6 x 4 mm 6 x 4 mm
光束发散角(V x H) 2x 1 mrad 2 x 1 mrad
能量稳定性(标准偏差) < 2 % < 2 %
冷却 Cooling Air / Optional Liquid Cooling Air / Optional Liquid
电力需求 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz
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