NDIR NF₃传感器模块是一款高可靠性的非分散红外（NDIR）传感器，专为半导体制造环境中对三氟化氮（NF₃）的精确检测而设计。凭借优异的稳定性、快速的响应与恢复速度以及可靠的工作范围，该传感器能够确保气体监测的准确性和一致性。

产品特点：

· 测量范围： 0–50 ppm

· 分辨率： 1 ppm

· 响应时间： T62.5 < 20 秒

· 准确度： 测量值的 ≤ ±20%

· 最低检测限 (LDL)： 4 ppm

· 出厂警示值： 10 ppm / 20 ppm

· 使用寿命： 超过 24 个月

· 使用条件： 10℃ ~ 40℃，0–90% RH（无冷凝）

· 优越的选择性： 对 IPA、乙醇或 Galden 无交叉干扰