全自动化工艺驱动式操作程序，结合高柔性激光光学系统与宽范围工作压力设计，使该系统在支持前沿科研工作中占据独特优势。

这套自动化系统可实现靶材与衬底从装载锁腔室至 PLD 操作工位的无扰转运。在计算机的全流程控制下，系统可对样品与靶材的位置、转运及操作动作，以及相关联锁阀的位置状态，实现全程远程监控与操控。所有样品信息（包括样品编号、超高真空系统内的处理历史等）均存储于数据库中，供中控系统调取。

为提升操作效率，该创新型转运方案配备带原位更换系统的六工位靶材操作器，且可通过同一腔体接口完成靶材架与衬底架的双重转运。

工艺腔室配有超高真空标准连接法兰，可对接现有及后续新增设备，具体包括：· 激光装置· 带温控范围的衬底操作器· 靶材操作器· 带电源的离子源（用于衬底表面的清洗、刻蚀或活化）· 抽气系统（由前级泵、涡轮分子泵、离子泵及钛升华泵组合构成）· 配备辅件的真空计· 线性转运系统接口（可对接装载锁腔室、径向分布腔室、转运通道或真空转运箱等）· 带 Z 轴操作器的石英晶振膜厚仪· 配备辅件的反射高能电子衍射仪 / 托级反射高能电子衍射仪· 适配斜切衬底或掩膜版的随衬底联动式电动 / 手动挡板· 附加气体计量装置（如适配反应性沉积工艺的配套装置）· 观察窗（带挡板的视窗部件）· 残余气体分析仪· 束流监测仪· 适配诊断设备的加热式观察窗

系统采用模块化设计，可通过径向分布转运方案或转运通道，与其他任意科研平台进行组合与集成。最终的系统设计与功能配置取决于实际定制方案。

结合工艺腔室标准容积的抽气系统，可将本底真空度抽至1×10⁻⁸~5×10⁻¹¹ 毫巴区间（具体取决于泵组配置）。抽气系统由多种类型的真空泵组合而成，如前级真空泵、离子泵、低温泵、涡轮分子泵或钛升华泵等，可根据具体应用需求单独选配，以实现最优抽气性能。

Synthesium 工艺控制软件支持整合不同类型、不同厂商的各类源体并实现其协同高效运行，同时可便捷编写操作程序、实现薄膜生长的自动化控制，并完成全面的实验数据记录；该软件还可基于 Tango 开源设备架构，集成各类新增组件。

系统配备高端易用的电源及电子控制装置，可为各类源体及整套科研设备提供控制与辅助支持。