Beam'R2狭缝扫描式光束质量分析仪 
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狭缝扫描式光束质量分析仪系统提供高分辨率，但是要求光束小于1µm并且成本要高于相机型光束分析仪。尽管不能给出光束图像，但是在很多情况下XY或XYZ就可以满足应用要求。
产品特点：
· 190至1150 nm，Si探测器
· 650至1800 nm，InGaAs探测器
· 1000至2300或2500 nm，InGaAs（扩展）探测器
· 端口供电，USB2.0，灵活的3米电缆，没有电源砖
· 0.1µm采样和分辨率
· 线性和对数X-Y轮廓
· 轮廓缩放和狭缝宽度补偿
· 经济又准确
· M²选项 – 光束传播分析、发散、聚焦
产品选择：
| Beam’R2 | BeamMap2 |
主要特征 | 集成X和Y轮廓 | 实时 XYZθΦ 测量和焦点查找 实时指向、发散和M2 测量 |
接口 | USB 2.0 Port-powered | |
CW or Pulsed? | CW，脉冲最小 PRR（Si 探测器）≈ [500/（激光直径µm）] kHz | |
波长 | Si:190-1150 nm InGaAs:650-1800 nm Si+InGaAs:190-1800nm Si+InGaAs,extended:190-2500nm | |
X-Y-Z Profiles, plus Θ-Φ | N/A | 是 |
最佳分辨率 | 0.1 µm | |
最小光束 | 2 µm (Knife Edge mode) | |
更新率 | 5 Hz real-time (adjustable 2-10 Hz) | |
M2 测量 | Yes - with M2DU-BR accessory | Yes - real-time |
定位焦点 | Yes - with M2DU-BR accessory | Yes - real-time |
指向/发散 | Yes - with M2DU-BR accessory | Yes - real-time |
开关增益（选项 dB） | 32 dB | |
参数 | 参数值 | BeamMap2 | Beam'R2 | Comments |
波长可选范围（nm） | 190-1150, 650-1800, 190-1800, 190-2500 | Yes | Yes | Si, InGaAs, Si + InGaAs, |
被扫描光束直径 | 2 μm to 4 mm (2 mm for IGA-X.X) | Yes | Yes | Si + InGaAs, extended |
X-Y 轮廓及中心分辨率： | 0.1 μm 或者 0.05% 的扫描范围 | Yes | Yes | |
精度: | ± <2% ± ≤0.5μm | Yes | Yes | |
CW or Pulsed | 连续/脉冲 最小PRR ≈ [500/(激光直径µm)]kHz | Yes | Yes | |
光束对准准直 | ± 1 mrad with BeamMap2 Colli Mate | Yes | - | |
M2 测量 | 1 to >20, ± 5% | Yes | - | Beam Dependent |
实时更新 | 5 Hz | Yes | Yes | 4 Z-plane hyperbolic fit |
最大功率＆辐照度 | 1 W Total & 0.3 mW/μm2 | Yes | Yes | Adjustable 2-12 Hz |
增益范围： | 32dB | Yes | Yes | Metallic film on Sapphire slits |
