产品中心 · 光束质量分析仪
DataRay的BeamMap2代表了一种完全不同的实时光束分析方法。 它通过允许沿光束行程的多个位置进行测量,扩展了Beam'R2的测量功能。 这种实时狭缝扫描系统在旋转圆盘上的多个z平面中使用XY狭缝对,以同时测量四个不同z位置处的四个光束轮廓。
产品特点:
· 190至1150 nm,Si探测器
· 650至1800 nm,InGaAs探测器
· 1000至2300或2500 nm,InGaAs(扩展)探测器
· 提供多种平面间距选项
· 光束直径为5µm至4mm
· 端口供电,USB2.0,灵活的3米电缆,没有电源砖
· 0.1µm的采样和分辨率
· 线性和对数X-Y轮廓
· 轮廓缩放和狭缝宽度补偿
· 实时多Z平面扫描狭缝系统
· 实时 XYZ轮廓,焦点位置
· 实时M²、发散、准直、对准
产品参数:
产品参数 |
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波长 | Si detector: 190 to 1150 nm |
扫描光束直径 | Si detector: 5 µm to 4 mm, to 2 µm in Knife-Edge mode* |
平面间距(4XYmodels) | 100 µm: -100, 0, +100, +400 µm |
平面间距(3XYKE models) | 50 µm: -50, 0, +50, 0 µm |
束腰直径测量 | Second moment (4s) diameter to ISO 11146; Fitted Gaussian & TopHat |
束腰位置测量 | 在 X、Y 和 Z 方向上 ± 20 µm 最佳 |
测量源 | 连续波;脉冲激光,F µm = [500/(PRR in kHz)] |
分辨率精度 | 0.1µm或扫描范围的 0.05%±<2%±= 0.5 µm |
M² 测量 | 1 to > 20, ± 5% |
发散/准直,指向 | 1 mrad最好 |
最大功率和辐照度 | 1 W Total & 0.5 mW/µm² |
增益范围 | 1,000:1 Switched 4,096:1 ADC range |
显示图形 | X-Y-Z Position & Profiles, Zoom x1 to x16 |
更新率 | ~5 Hz |
平均 | 用户可选择运行平均值(1 到 8 个样本) |
最低电脑要求 | Windows, 2 GB RAM, USB 2.0/3.0 port |
* Knife-Edge mode需要 3XYKE 型号
产品选择:
| Beam’R2 | BeamMap2 |
主要特征 | 集成X和Y轮廓 | 实时 XYZθΦ 测量和焦点查找 实时指向、发散和M2 测量 |
接口 | USB 2.0 Port-powered | |
CW or Pulsed? | CW,脉冲最小 PRR(Si 探测器)≈ [500/(激光直径µm)] kHz | |
波长 | Si:190-1150 nm InGaAs:650-1800 nm Si+InGaAs:190-1800nm Si+InGaAs,extended:190-2500nm | |
X-Y-Z Profiles, plus Θ-Φ | N/A | 是 |
最佳分辨率 | 0.1 µm | |
最小光束 | 2 µm (Knife Edge mode) | |
更新率 | 5 Hz real-time (adjustable 2-10 Hz) | |
M2 测量 | Yes - with M2DU-BR accessory | Yes - real-time |
定位焦点 | Yes - with M2DU-BR accessory | Yes - real-time |
指向/发散 | Yes - with M2DU-BR accessory | Yes - real-time |
开关增益(选项 dB) | 32 dB |
参数 | 参数值 | BeamMap2 | Beam'R2 | Comments |
波长可选范围(nm) | 190-1150, 650-1800, 190-1800, 190-2500 | Yes | Yes | Si, InGaAs, Si + InGaAs, |
被扫描光束直径 | 2 μm to 4 mm (2 mm for IGA-X.X) | Yes | Yes | Si + InGaAs, extended |
X-Y 轮廓及中心分辨率: | 0.1 μm 或者 0.05% 的扫描范围 | Yes | Yes | |
精度: | ± <2% ± ≤0.5μm | Yes | Yes | |
CW or Pulsed | 连续/脉冲 最小PRR ≈ [500/(激光直径µm)]kHz | Yes | Yes | |
光束对准准直 | ± 1 mrad with BeamMap2 ColliMate | Yes | - | |
M2 测量 | 1 to >20, ± 5% | Yes | - | Beam Dependent |
实时更新 | 5 Hz | Yes | Yes | 4 Z-plane hyperbolic fit |
最大功率&辐照度 | 1 W Total & 0.3 mW/μm2 | Yes | Yes | Adjustable 2-12 Hz |
增益范围: | 32dB | Yes | Yes | Metallic film on Sapphire slits |