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BeamMap2狭缝扫描式光束质量分析仪
BeamMap2狭缝扫描式光束质量分析仪

Dataray @ BeamMap2狭缝扫描式光束质量分析仪

产品负责人

李工

姓名:李工

电话:0431-85916189

邮箱:info@china-quantum.com


产品详情

DataRay的BeamMap2代表了一种完全不同的实时光束分析方法。 它通过允许沿光束行程的多个位置进行测量,扩展了Beam'R2的测量功能。 这种实时狭缝扫描系统在旋转圆盘上的多个z平面中使用XY狭缝对,以同时测量四个不同z位置处的四个光束轮廓。

 

 产品特点:

 

· 190至1150 nmSi探测器

· 650至1800 nm,InGaAs探测器

· 1000至2300或2500 nm,InGaAs(扩展)测器

· 提供多种平面间距选项

· 光束直径为5µm至4mm

· 端口供电,USB2.0灵活的3米电缆没有电源砖

· 0.1µm采样和分辨率

· 线性和对数X-Y轮廓

· 轮廓缩放和狭缝宽度补偿

· 实时多Z平面扫描狭缝系统

· 实时 XYZ轮廓,焦点位置

· 实时M²、发散、准直、对准

 

产品参数:

产品参数

 

波长

Si detector: 190 to 1150 nm
InGaAs detector: 650 to 1800 nm
Si + InGaAs detectors: 190 to 1800 nm
Si + InGaAs (extended) detectors: 190 to 2300 or 2500 nm

扫描光束直径

Si detector: 5 µm to 4 mm, to 2 µm in Knife-Edge mode*
InGaAs detector: 10 µm to 3 mm, to 2 µm in Knife-Edge mode*
InGaAs (extended) detector: 10 µm to 2 mm, to 2 µm in Knife-Edge mode*

平面间距(4XYmodels

100 µm: -100, 0, +100, +400 µm
250 µm: -250, 0, +250, +1000 µm
500 µm: -500, 0, +500, +2000 µm
750 µm: -750, 0, +750, +3000 µm

平面间距(3XYKE models)

50 µm: -50, 0, +50, 0 µm
100 µm: -100, 0, +100, 0 µm

束腰直径测量

Second moment (4s) diameter to ISO 11146; Fitted Gaussian & TopHat
1/e² (13.5%) width
User selectable % of peak
Knife-Edge mode* for very small beams

束腰位置测量

X、Y 和 Z 方向上 ± 20 µm 最佳

测量源

连续波;脉冲激光,F µm = [500/(PRR in kHz)]

分辨率精度

0.1µm或扫描范围的 0.05%±<2%±= 0.5 µm

M² 测量

1 to > 20, ± 5%

发散/准直,指向

1 mrad最好

最大功率和辐照度

1 W Total & 0.5 mW/µm²

增益范围

1,000:1 Switched 4,096:1 ADC range

显示图形

X-Y-Z Position & Profiles, Zoom x1 to x16

更新率

~5 Hz

平均

用户可选择运行平均值(1 到 8 个样本)

最低电脑要求

Windows, 2 GB RAM, USB 2.0/3.0 port

* Knife-Edge mode需要 3XYKE 型号

产品选择:

 

 

Beam’R2

BeamMap2

主要特征

集成X和Y轮廓

实时 XYZθΦ 测量和焦点查找

实时指向、发散和M2 测量

接口

USB 2.0 Port-powered

CW or Pulsed?

CW,脉冲最小 PRR(Si 探测器)≈ [500/(激光直径µm] kHz

波长

Si:190-1150 nm

InGaAs:650-1800 nm

Si+InGaAs:190-1800nm

Si+InGaAs,extended:190-2500nm

X-Y-Z Profiles, plus Θ-Φ

N/A

最佳分辨率

0.1 µm

最小光束

2 µm (Knife Edge mode)

更新率

5 Hz real-time (adjustable 2-10 Hz)

M2 测量

Yes - with M2DU-BR accessory

Yes - real-time

定位焦点

Yes - with M2DU-BR accessory

Yes - real-time

指向/发散

Yes - with M2DU-BR accessory

Yes - real-time

开关增益(选项 dB)

32 dB

 

参数

参数值

BeamMap2

Beam'R2

Comments

波长可选范围(nm)

190-1150, 650-1800, 190-1800, 190-2500

Yes

Yes

Si, InGaAs, Si + InGaAs,

被扫描光束直径

2 μm to 4 mm (2 mm for IGA-X.X)

Yes

Yes

Si + InGaAs, extended

X-Y 轮廓及中心分辨率:

0.1 μm 或者 0.05% 的扫描范围

Yes

Yes

 

精度:

± <2% ± ≤0.5μm

Yes

Yes

 

CW or Pulsed

连续/脉冲 最小PRR ≈ [500/(激光直径µm)]kHz

Yes

Yes

 

光束对准准直

± 1 mrad with BeamMap2 ColliMate

Yes

-

 

M2 测量

1 to >20, ± 5%

Yes

-

Beam Dependent

实时更新

5 Hz

Yes

Yes

4 Z-plane hyperbolic fit

最大功率&辐照度

1 W Total & 0.3 mW/μm2

Yes

Yes

Adjustable 2-12 Hz

增益范围:

32dB

Yes

Yes

Metallic film on Sapphire slits

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