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产品详情
德国ATL Lasertechnik公司专业生产小型化、高重频、紧凑型短脉冲准分子激光器,并在该领域保持技术领先地位。
产品特点:
· 软电晕预电离
· 全固态高压脉冲发生器
· 激光头容积 < 3L
· TMC(全金属陶瓷)管路
· 集成真空泵和卤素过滤器
· 全部风冷,主动热管理
· RS-485、RS232、USB及光纤接口
· 可冲洗光具座
· 能量稳定模式
· 符合欧洲CE标准
· 符合RoHS规范
产品应用:
· 微机械加工
· 激光烧蚀
· 光谱学
· 计量学
参数型号
型号 | ATLEX-LR | ATLEX-500-FBG | ATLEX-300-FBG | ATLEX-1000-I | ATLEX-500-I | ATLEX-300-I |
机械尺寸 | ||||||
重量 | 60 kg | 60 kg | 60 kg | 60 kg | 60 kg | 60 kg |
尺寸 | 540 x 470 x 370 mm | 540 x 470 x 370 mm | 540 x 470 x 370 mm | 540 x 470 x 370 mm | 540 x 470 x 370 mm | 540 x 470 x 370 mm |
基础参数 | ||||||
最大重复频率 | 500 Hz | 300 Hz | 810 Hz | 500 Hz | 300 MHz | |
波长(nm) | 193 | 193/248 | 193/248 | 193/248 | 157/193/248/308/351 nm | 157/193/248/308/351 |
气体介质 |
ArF |
ArF/KrF |
ArF/KrF |
ArF/KrF |
F2/ArF/KrF/XeCl/XeF |
F2/ArF/Kr/XeCl/XeF |
高压开关技术 | 固态开关 | 固态开关 | 固态开关 | 固态开关 | 固态开关 | |
最大脉冲能量 | 12 mJ | 10/15 mJ | 10/15 mJ | 10/15 | 1/10/15/8/7 | 1/10/15/8/7 mJ |
最大平均功率 | 4.0/ 6.5 W | 2.4/4.0 W | 8/10 | 0.5/4.0/6.5/3.0/2.5 | 0.2/2.4/4.0/2.0/1.7 W | |
脉冲宽度 | 5 ns | 5 – 8 ns | 5 – 8 ns | 5 – 8 ns | 5 – 8 ns | 5 – 8 ns |
光束尺寸(V x H) | 4 x 6 mm | 4 x 6 mm | 4 x 6 mm | 4 x 6 mm | 4 x 6 mm | 4 x 6 mm |
光束发散角(V x H) | 1 x 2 mrad | 1 x 2 mrad | 1 x 2 mrad | 1 x 2 mrad | 1 x 2 mrad | 1 x 2 mrad |
能量稳定性(标准偏差) | < 2 % | < 3 % | < 3 % | < 3 % | < 3 % | < 3 % |
冷却 | Air | Cooling Air / Optional Liquid | Cooling Air / Optional Liquid | Cooling Air / Optional Liquid | Cooling Air / Optional Liquid | Cooling Air / Optional Liquid |
电力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz | 230 VAC / 10 A / 1 phase / 50-60 Hz | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz |
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