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准分子激光器
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ATL Lasertechnik @ 准分子激光器

产品负责人

陈工

姓名:陈工

电话:0431-85916189

邮箱:info@china-quantum.com


产品详情

德国ATL Lasertechnik公司专业生产小型化、高重频、紧凑型短脉冲准分子激光器并在该领域保持技术领先地位。

 

产品特点:

 

· 软电晕预电离

· 全固态高压脉冲发生器

· 激光头容积 < 3L

· TMC(全金属陶瓷)管路

· 集成真空泵和卤素过滤器

· 全部风冷,主动热管理

· RS-485、RS232、USB光纤接口

· 可冲洗光具座

· 能量稳定模式

· 符合欧洲CE标准

· 符合RoHS规范

 

产品应用:

 

· 机械加工

· 激光烧蚀

· 光谱学

· 计量学

参数型号
型号 ATLEX-LR ATLEX-500-FBG ATLEX-300-FBG ATLEX-1000-I ATLEX-500-I ATLEX-300-I
机械尺寸
重量 60 kg 60 kg 60 kg 60 kg 60 kg 60 kg
尺寸 540 x 470 x 370 mm 540 x 470 x 370 mm 540 x 470 x 370 mm 540 x 470 x 370 mm 540 x 470 x 370 mm 540 x 470 x 370 mm
基础参数
最大重复频率 500 Hz 300 Hz 810 Hz 500 Hz 300 MHz
波长(nm) 193 193/248 193/248 193/248 157/193/248/308/351 nm 157/193/248/308/351
气体介质 ArF
ArF/KrF
ArF/KrF
ArF/KrF
F2/ArF/KrF/XeCl/XeF
F2/ArF/Kr/XeCl/XeF
高压开关技术 固态开关 固态开关 固态开关 固态开关 固态开关
最大脉冲能量 12 mJ 10/15 mJ 10/15 mJ 10/15 1/10/15/8/7 1/10/15/8/7 mJ
最大平均功率 4.0/ 6.5 W  2.4/4.0 W 8/10 0.5/4.0/6.5/3.0/2.5 0.2/2.4/4.0/2.0/1.7 W
脉冲宽度 5 ns 5 – 8 ns 5 – 8 ns 5 – 8 ns 5 – 8 ns 5 – 8 ns
光束尺寸(V x H) 4 x 6 mm 4 x 6 mm 4 x 6 mm 4 x 6 mm 4 x 6 mm 4 x 6 mm
光束发散角(V x H) 1 x 2 mrad 1 x 2 mrad 1 x 2 mrad 1 x 2 mrad 1 x 2 mrad 1 x 2 mrad
能量稳定性(标准偏差) < 2 % < 3 % < 3 % < 3 % < 3 % < 3 %
冷却 Air Cooling Air / Optional Liquid Cooling Air / Optional Liquid Cooling Air / Optional Liquid Cooling Air / Optional Liquid Cooling Air / Optional Liquid
电力需求 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz 230 VAC / 10 A / 1 phase / 50-60 Hz 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz
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