真空紫外滤光片是一种专门用于过滤真空紫外波段（波长范围通常为10-200nm）光线的光学元件。

主要特点

具有高透过率和低吸收率，能够在真空紫外波段实现对特定波长光线的高效过滤和选择；此外，还具备良好的光学均匀性、稳定性及抗辐射能力，以保证在真空紫外环境下的可靠工作。

工作原理 

- 吸收原理：利用某些材料对特定波长真空紫外光的吸收特性，将不需要的波长光线吸收掉，只允许特定波长范围的真空紫外光通过。如一些金属卤化物薄膜材料，对特定波长的真空紫外光有强烈吸收作用。

- 干涉原理：通过在基底材料上镀制多层不同折射率的薄膜，使真空紫外光在薄膜层间发生干涉现象。当满足特定条件时，特定波长的真空紫外光发生相长干涉而透过滤光片，其他波长的光则发生相消干涉被反射或吸收。

材料选择 

- 基底材料：常用的有熔融石英、氟化镁、蓝宝石等。熔融石英在真空紫外波段具有较好的透过性和化学稳定性；氟化镁晶体具有低折射率、高紫外透过率的特点；蓝宝石则具有较高的硬度和机械强度，能承受恶劣环境。

- 镀膜材料：如二氧化硅、三氧化二铝、氟化镁等，这些材料具有合适的折射率和光学性能，可通过物理或化学方法镀在基底上，形成多层薄膜结构，实现对真空紫外光的滤波功能。

应用领域 

- 科研领域：在真空紫外光谱仪中，用于选择特定波长的真空紫外光，进行物质的光谱分析，研究物质在真空紫外波段的光学性质；在同步辐射光源、真空紫外激光等实验装置中，用于光束的滤波和整形，提高实验的精度和可靠性。

- 半导体工业：在光刻技术中，用于产生特定波长的真空紫外光，实现对半导体芯片的精细光刻，制造更小尺寸的集成电路器件。

- 天文学领域：用于天文观测设备，如太空望远镜等，过滤掉其他波长的光线，只允许真空紫外波段的星光通过，帮助天文学家研究恒星、星系等天体在真空紫外波段的辐射特征。

- 环境监测：可用于监测大气中的臭氧、氮氧化物等污染物在真空紫外波段的吸收特性，实现对大气环境的实时监测和污染评估。

真空紫外滤光片欢迎咨询长春博盛量子，0431-85916189